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上海计量院起草的两项地方计量技术规范通过审定

  2018年9月21日,上海计量院起草的《微纳米台阶高度样板校准规范》和《微纳米线间隔标准样板校准规范》两项地方计量技术规范进行审定。
  审定会上,来自于全国几何量长度计量技术委员会、复旦大学、浙江省计量科学研究院等单位的专家组成的专家组详细听取了起草组关于规程编制说明、征求意见汇总与处理、试验报告的汇报,并对规程送审稿进行了认真讨论。
  专家组一致认为两项校准规范技术资料齐全、内容完整,规范提出的计量特性合理、校准方法科学,同意规程通过审定,将尽快形成报批稿后批准发布。
  微纳米台阶高度(深度)标准样板和微纳米线间隔标准样板主要用于扫描探针显微镜、台阶仪、触针式轮廓仪和光学式表面形貌测量仪等纳米测量仪器的校准,在纳米级长度量值传递中起到关键作用。
  以上两个规范的编制也是国家重大科学仪器设备开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”的输出成果,规范批准发布后,预计将有效解决本市集成电路制造企业使用的微纳米台阶高度(深度)标准样板和微纳米线间隔标准样板只能依靠国外机构实现溯源的困境,对支撑我国集成电路产业发展有重要的积极意义。

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