模拟/混合集成电路自动测试系统主要是指针对以模拟信号电路、混合信号电路(以模拟为主，数字为辅)为主的集成电路测试而设计的自动测试系统，被测电路主要包括电源管理器件( 如线性稳压器、脉宽调制控制器、充电电路、DC- DC转换器等)、高精度模拟器件(如运算放大器、视频/音频放大器、滤波器、锁相环等)、数据转换器(如AV/D转换器、D/A 转换器等)、汽车电子(如功率放大器、各类驱动器等)和分立器件(如MOSFET、IGBT等)。
目前，国际上主要的模拟/混合集成电路自动测试系统有美国泰瑞达(Teradyne)公司的(含原Eagle公司) ETS系列(如ETS88、ETS364等)和FLEX系列，美国LIX-Credence公司的ASL1000 系列，北京华峰AccoTEST 的STS8200 系列和STS8250系列，上海宏测(Macrotest)MTS737、MS7000 ，纳米软件NSAT-2000系列等。
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模拟/混合集成电路自动测试系统中的主要模块是直流仪表模块，也称“V/I源(电压/电流源)",它通常具备图8-267所示的四象限能力，既能产生正电压和正电流，也能产生负电压和负电流。同时， 该模块通常具备加压测流(Force-Voltage/ Measure-Current, FVMI)、加流测压 (Force -Current/ Measure一Voltage, FIMV)、加压测压( Force-Voltage/ Measure - Voltage,FVMV)、加流测流(Force-Current/ Measure Current FIMI) 4种能力。衡量直流模块测试能力的指标包括电压/电流范围、精确度、准确度、测量速度、施加速度、瞬态响应、纹波等。
模拟波形产生模块用于产生符合测试需求的任意模拟电压波形，通常采用比正弦波或函数发生器更灵活的任意波形发生器，如图8-268所示。任意波形发生器的主要功能有同步/异步时钟、触发、滤波、实时DSP等，通常包括一个波形源存储器，通过D/A转换器将波形数据转换成模拟电压，可编程低通滤波器将步进模拟信号平滑为连续波形，可编程增益放大器(Programmable-Gain Amplifier, PGA) 用于调整信号电平。
模拟波形数字化仪与模拟波形产生模块的功能正好相反，是将连续时间模拟波形转换为数字表示，其数字化后的数据存储在波形捕获存储器中。图所示的是典型的模拟波形数字化仪结构。其输入端的可编程低通滤波器用于限制输入信号的带宽，以减少噪声和防止信号混叠。可编程增益放大器用于调整进入A/D转换器的信号电平，以减少A/D转换器量化误差带来的噪声影响。
传统的模拟/混合电路自动测试系统的测试资源通常由多款不同功能的选件组成，而目前的测试系统在单个测试通道中集成了源、测量和分析的全部功能，其测试条件的更新也会采用测试矢量动态控制的方式，极大地提高了测试效率。
